PPP-Konsortium zur Verbesserung des Cyber

Jun 10, 2023

Vor Kurzem startete das NWO KIC-Projekt „REGENERATE“. Im Rahmen dieser öffentlich-privaten Partnerschaft (PPP) arbeiten Wissensinstitutionen und Industriepartner an zuverlässigen High-Tech-Bewegungssystemen, etwa Lithografiemaschinen zur Herstellung von Computerchips.

Am 31. Mai 2023 fand das Kick-off-Meeting des NWO KIC-Projekts „REGENERATE“ statt. Jannis Teunissen von der CWI-Forschungsgruppe Multiscale Dynamics war einer der Mitantragsteller. Im Rahmen dieser öffentlich-privaten Partnerschaft (PPP) arbeiten Wissensinstitutionen und Industriepartner an zuverlässigen High-Tech-Bewegungssystemen, beispielsweise Lithographiemaschinen, die zur Herstellung von Computerchips eingesetzt werden. Am CWI wird Anfang 2024 ein Doktorand in diesem Programm beginnen.

Jannis Teunisse: „Dieses Projekt ist aus mehreren Gründen spannend: Es wird viele neue Kooperationen geben, es besteht das Potenzial für direkte Auswirkungen auf die Industrie und es ist eine Gelegenheit, mehr über den Zusammenhang zwischen (unerwünschten) elektrischen Entladungen und Materialabbau zu erfahren.“ Mitantragsteller von REGENERATE sind die Technische Universität Eindhoven (Projektleitung), das CWI und die Technische Universität Delft. Mitfinanzierer sind ASML und Tecnotion.

Der Programmname „REGENERATE“ steht für „Reliable Next Generation Actuation Systems“. In High-Tech-Bewegungssystemen werden sogenannte lineare elektromagnetische Aktoren eingesetzt. Sie können beispielsweise die nanometergenaue Positionierung von Wafern in Lithographiemaschinen ermöglichen. Steigende Anforderungen an Beschleunigung und Präzision führen zu höheren mechanischen, elektromagnetischen und thermischen Belastungen und irreparablen Ausfällen. Zuverlässigkeit ist daher zu einem wichtigen Anliegen geworden. Allerdings sind die Fehlermechanismen derzeit kaum verstanden. In diesem multidisziplinären Projekt werden die Forscher die wichtigsten Ausfallmechanismen untersuchen, indem sie theoretische Modelle in Kombination mit experimentellen Messungen verwenden. Die Ergebnisse werden zur Verbesserung zukünftiger Linearantriebssysteme und der Zuverlässigkeit bei den Partnern ASML und Tecnotion verwendet.

Quelle: https://www.nwo.nl/en/news/two-ppp-consortia-will-kick-improving-cyber-physical-systems.

Bild: REGENERATE-Auftakttreffen am 31. Mai 2023. Jannis Teunissen (CWI), zweiter von rechts; Projektleiterin Prof. Elena Lomonova (TU/e) 6. von rechts.